光伏新能源硅晶片的生產工藝流程

從大的方面來講，光伏新能源硅晶片生產包括硅單晶棒生產和光伏新能源硅晶片生產兩大部分，細分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長-單晶棒裁切和檢測-外徑磨削-切片-倒角（圓邊）-研磨/研磨片檢查-蝕刻（化學蝕刻、LP-CVD+AP-CVD 等工藝）-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光（ML粗拋、ML精拋）-洗凈-品質檢查-潔凈包裝

從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產工序，切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產工序。下面以某日資硅片廠為例，介紹光伏新能源硅晶片生產工序的空調凈化系統和自控系統的設計方案。

各生產工序環境控制要求

某硅片廠生產4~6英寸光伏新能源硅晶片，產量為480萬片/年。此公司光伏新能源硅晶片應用于分立器件、功率元件和特種集成電路的制作。

二、空調凈化系統

空調凈化的設計是與工藝的布局、生產的流程密切結合的。不同類型、不同用途的廠房空調凈化系統都各有特點，下面來介紹光伏新能源硅晶片生產工序的空調凈化系統方案。